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基礎技術參數(shù)：
型 號： Function10128
 行 程： X軸 1000 mm
Y軸 1200 mm
Z軸 800 mm
 結構型式：移動橋式
 傳動方式：直流伺服系統(tǒng)+ 預載荷高精度空氣軸承
 長度測量系統(tǒng)：RENISHAW開放式光柵尺，分辨率為0.5μm
 機 臺：高精度花崗巖平臺
 使用環(huán)境：溫度(20±2)℃，濕度55%-65% ，溫度梯度1℃/m，溫度變化 1℃/h
 空氣壓力：0.6 MPa - 0.8 Mpa
 空氣流量：140 L/min – 160 L/min
 整機尺寸(LWH)：2.45 m X 1.75 m X 3.25m
 機臺承重：1200 kg ，整機重量：4500Kg
 空間測量精度：（4+L/300）μm
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